微流控芯片超快激光三维精密刻蚀系统
ULTRAFAST LASER THREE - DIMENSIONAL PRECISION ETCHING SYSTEM FOR MICROFLUIDIC CHIPS

产品描述
河南省科学院激光制造研究所自主研发的多功能超快激光三维精密制造装备集成了多维光场调控模块和一体化协同控制软件,可实现玻璃、晶体、聚合物、金属、半导体材料的增材、减材、焊接、改性等多功能精密加工,为化工制药、生物医药、电子信息领域的微流控芯片、集成光电器件等的精密制造提供关键核心装备支持。
适用领域
化工制药,生物医药,电子信息,量子科技。