应用领域

主要用于准确地观测样品表面微纳米尺度三维形貌；同时可对样品表面物性进行研究，能测试多种材料表面相图、静电力、表面电势，微区导电，摩擦力等精确测试多种力学特性。

设备核心参数

1 XY方向分辨率：闭环控制下，不大于0.15nm；

2 Z方向分辨率：闭环控制下，不大于0.03nm；

3 闭环控制XY方向扫描范围≥100µm；

4 Z方向扫描范围15µm；

5 进针方式：智能自动进针方式，采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针及样品。

6 增强型静电力显微镜，样品和针尖上均可加±10v电压，包括静电力显微镜和表面电势显微镜；

7 纳米力学压入，可控制压入最大力，压入深度，压入速度。

8 样品台尺寸：开放式样品空间100mm×100mm；能放置最大样品高度不低于20mm；

9 自动进针系统，Z向马达程序控制；电动位移行程: 20 mm；

注意事项

设备需要专业人员操作，未经培训不得上机操作

收费信息

材料类常规测试：普通形貌（空气）：350元/h；电学、磁学、力学、液下450元/h。探针自带或按规格收费。其他类或特殊测试：价格协商。