应用领域

主要用于准确地观测样品表面微纳米尺度三维形貌；同时可对样品表面物性进行研究，能测试多种材料表面相图、静电力、表面电势，微区导电，摩擦力等精确测试多种力学特性。

设备核心参数

1. XY方向分辨率：闭环控制下，不大于0.15 nm；

2. Z方向分辨率：闭环控制下，不大于0.03 nm；

3. 闭环控制XY方向扫描范围≥100 µm；

4. Z方向扫描范围15 µm；

5. 进针方式：智能自动进针方式，采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，以保护探针及样品。

6. 增强型静电力显微镜，样品和针尖上均可加±10 V电压，包括静电力显微镜和表面电势显微镜；

7. 纳米力学压入，可控制压入最大力，压入深度，压入速度。

8. 样品台尺寸：开放式样品空间100 mm×100 mm；能放置最大样品高度不低于20 mm；

9. 自动进针系统，Z向马达程序控制；电动位移行程: 20 mm；

注意事项

设备需要专业人员操作，未经培训不得上机操作

收费信息

材料类常规测试：普通形貌（空气）：350元/小时；电学、磁学、力学、液下450元/小时。探针自带或按规格收费。其他类或特殊测试：价格协商。