【激光所】“两金一银”闪耀粤港澳大湾区科创节,以创新激光技术引领产业变革
2025年11月11日
2025年11月7日——8日 在深圳南山科技园举办的首届粤港澳大湾区高校校友科创节暨粤港澳大湾区创新大奖Demo Day上,河南省科学院激光制造研究所(简称“激光所”)携三项尖端技术项目惊艳亮相,经过与全国500多个优秀项目的激烈角逐,激光所最终凭借卓越的技术创新性与广阔的应用前景,一举摘得“两金一银”的优异成绩,成为本届科创节上备受瞩目的创新力量。这一成绩不仅是激光所自身创新实力的体现,更是河南省科学院深入贯彻落实加快高水平科技自立自强,引领发展新质生产力的生动实践。
本次盛会以“中国创新,走向世界”为主题,由香港国际投资总会、澳门经济民生联盟、深圳市经济学会、清源科创联合发起主办,深度聚焦人工智能、高端装备等前沿科技领域,汇聚了众多知名高校校友创业企业、创新团队以及学界、投资界权威。激光所所长江浩庆亲自率队参与,激光所参评的三个项目项目接受了来自清华大学、复旦大学、香港乐基大学等高校的20余位教授,以及20多家投资机构合伙人的多维度严格评审,重点考察参评项目的学术前沿性、投资价值与产业应用潜力等关键指标。
金奖项目一:引领晶圆切割变革
荣获科技发明奖金奖的《基于激光内部改质的晶圆切割系统及装备》,代表了晶圆切割技术的一次重要飞跃。该技术具备高精度、非接触、无水切割的显著特点,有效解决了传统切割方式在特定材料加工中面临的难题。它特别适用于对切割环境和切割质量有严苛要求的


芯片材料,如硅、碳化硅、玻璃、蓝宝石和钽酸锂等,为先进半导体制造提供了更为清洁、精准和可靠的切割解决方案,展现出巨大的产业应用潜力。该项目积极响应河南省科学院关于“强化智能制造与半导体关键工艺装备研发”的部署,是科学院在高端装备领域布局的重要成果。
金奖项目二:水导激光,打造高效精密加工新利器
另一项斩获科技发明奖金奖的《水导激光多轴加工装备》,创新性地将高能激光与微孔水射流技术相融合。其核心技术在于使高能激光耦合于微孔水射流形成的微米级“水束光纤”之内,形成独特的柱状光刀(长度可达20-100mm),实现对材料的高效精密加工。与此同时,高压水束在加工过程中同步起到冷却加工区域和冲刷去除残渣的双重作用,提升了加工质量与效率,在复杂零部件加工等领域前景广阔。该装备的研发与应用,契合河南省科学院推动“高端制造与智能装备”产业集群发展的战略方向,为产业升级提供了关键技术支撑。

银奖项目:突破超硬材料加工瓶颈,助力成本大幅优化
荣获科技发明奖银奖的《超硬材料激光垂直剥离装备及产业化》项目,聚焦于激光剥离技术在前沿材料领域的应用。该技术利用超短脉冲激光在晶锭内部精确形成剥离层,再结合外部张力实现晶片的高效、高质量分离。与传统线切割技术相比,此方法能显著缩短加工时间,降低材料损耗,提高产品良率。尤为引人关注的是,该技术有望推动碳化硅衬底成本下降高达44%,将有力加速碳化硅材料在新能源汽车、光伏发电等战略性新兴产业的应用普及,对产业链降本增效意义重大。该成果是河南省科学院围绕“新材料与绿色能源”重点领域开展技术攻关的代表性进展,体现了科学院服务国家“双碳”目标与产业高质量发展的坚定决心。
此次激光所三个项目在粤港澳大湾区科创节上获得的“两金一银”佳绩,是对激光所长期坚持科技创新与产业应用发展路线的充分肯定,也是河南省科学院以科技创新为核心引领,积极融入国家战略、服务地方产业转型的重要体现。未来激光所将继续在河南省科学院的整体规划和政策指引下,深化研发与成果转化,为提升我国在高端装备制造和半导体关键工艺领域的核心竞争力贡献力量。

激光所在首届粤港澳大湾区高校校友科创节上的卓越表现,不仅彰显了其在激光技术领域的深厚积累与领先优势,也体现了河南省科学院在推动科技创新与产业创新深度融合方面的显著成效,以及大湾区作为创新高地对前沿科技项目的集聚与催化效应,为“中国
新,走向世界”增添了精彩的注脚。